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TORAY東麗 氧氣分析儀

TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500
東麗(TORAY)株式會社成立于1926年,總部位于日本東京。東麗集團是世界性的以有機合成、高分子化學、生物化學為核心技術的高科技跨國企業,是一家以合成纖維,合成樹脂起家,現涉及涵蓋各種化學制品,信息相關素材的大型化學企業。公司口號“Innovation by Chemistry“(化學革新創造)。

  • 產品型號:MS-500
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-08-15
  • 訪  問  量:484
立即咨詢

聯系電話:13024103468

詳細介紹
品牌TORAY/東麗應用領域醫療衛生,能源,綜合

TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500

TORAY東麗 氧氣分析儀 MS-500

氧氣濃度計半導體、液晶、電子零部件相關應用

  • 最多可以同時測量8個點

  • 可以從ppm級別到100%的廣泛濃度表示。

  • 安裝在半導體制造裝置、真空裝置等上

  • 傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)

  • 對高耐久的傳感器施以特殊涂層,進一步提高耐久性

測定原理ジルコニア濃淡電池式
形狀分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式)
表示方式デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動レンジ
繰返性±0.5%FS以內 0-1%レンジ以上
±1%FS以內または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
測定點數1~8
サンプルガス條件圧力10-3~200KPa(絶対圧)
流量0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態の測定)
濕度露點が周囲溫度以下
溫度0~100℃
その他腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス大気
記録計出力伝送出力のみ
伝送出力RS-232C
警報出力なし
ウォームアップ時間6分以內
寸法MS-500(コントローラ)92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機)100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
センサユニットSD16NW全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51)
SD25NW全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48)
SD40NW全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49)
質量MS-500(コントローラ)約0.6Kg
MS-510(変換器)約0.5kg
センサユニットSD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部接続真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源24VDC±10%




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