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日本樫山kashiyama真空泵 SDL系列 大排量 1.可用于大尺寸的Wafer & FPD 大容量可組合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。 2.縮短周期時間 大容量約為atm.壓力，可實現(xiàn)高速泵送，*適合大型L/L室

日本樫山kashiyama真空泵 SDE-TX系列 SDE系列專注于苛刻的工藝耐久性 1.垂直螺絲，耐用性強，可防沉淀。 2.材質(zhì)及溫度設(shè)定，耐腐蝕。 嚴酷的工藝應(yīng)用實例